Logo

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

NEXTTorr

CapaciTorr

CapaciTorr HV

Сверхвысоковакуумные насосы разработаны специально для использования в промышленности и науке и идеально подходят в качестве встраиваемой техники в приборостроении. Позволяют создавать вакуум порядка 10-11 мбар и более, выпускаются в большом диапазоне производительности от 0,4 до 2000 л/с.

 

 

 

Серия NEXTorr

 

Насосы NEXTorr комбинируют в удобной конструкции технологии нераспыляющих геттерных (НРГ) насосов и ионных насосов. В конструкции NEXTorr НРГ насос объединен с ионным насосом сравнительно малого размера. Геттерный элемент обеспечивает очень высокую скорость и производительность откачивания и действует как основной насос активных газов, оставляя ионному насосу задачу удаления редких газов и метана, не откачиваемых НРГ насосом. За счет очень малого процентного содержания метана и редких газов в газовом составе УВВ/СВВ систем, как правило, с преобладанием водорода и содержащих кислород газов, от ионного насоса требуется совсем невысокая скорость откачивания. Кроме того, ионный насос предоставляет показания давления, которые могут использоваться для контроля вакуума и хода выполнения процесса. Этот подход полностью устраняет основные ограничения в использовании НРГ насосов, предлагая в компактной конструкции высококлассный продукт в показателях скорости и производительности откачивания, потребляемой мощности и надежности.

 

 

Серия CapaciTorr

 

Насосы серии CapaciTorr – нераспыляющие геттерные насосы (НРГ) дополняющих линейку насосов NEXTorr, обеспечивая высокие характеристики в очень компактном объеме. Несмотря на их минимальное заполнение камеры (менее 100, 200 и 300 куб. см, соответственно) и небольшой вес (~300–400 г), они отличаются впечатляющей скоростью перекачивания H2 и других активных газов, присутствующих в ультравысоковакуумных и сверхвысоковакуумных системах, например, H2O, O2, CO2, CO и N2. Такой результат достигается за счет внедрения новой специальной конструкции насоса и применения высокоэффективных спеченных пористых геттерных дисков из сплавов St 172.

 

 

Серия CapaciTorr HV

В насосах серии CapaciTorr HV  используется инновационный геттерный сплав ZAO (Ti-Zr-V-Al) в форме высокопористых спеченных дисков. Насос, имеющий очень компактную конструкцию, обеспечивает высокие характеристики перекачивания в высоковакуумных режимах (в диапазоне от 10–7 до 10–9 Торр) для всех геттерируемых газов, таких как H2, N2, H2O, CO/CO2 и O2. Это обеспечивается в рабочих условиях геттерного картриджа при умеренной температуре (≈200oC). Благодаря чрезвычайно высокой способности газопоглощения насосы могут справляться с большим притоком воздуха или резкими выбросами газа, типичными для высоковакуумных систем. Насосы серии CapaciTorr HV можно также использовать в ультравысоковакуумном диапазоне с геттерным картриджем, работающим при комнатной температуре.

 

 

 

 

 

Загрузите наши дополнительные материалы и публикации в формате PDF:

 

 

 

 

 

Серия NEXTorr:

Насосы NEXTorr

NEXTorr - технические данные

Новый подход в получении высокого вакуума

Эффективные решения для высокого вакуума

 

 

Серия CapaciTorr:

Насосы CapaciTorr

CapaciTorr - технические данные

 

Серия CapaciTorr HV:

Насосы CapaciTorr HV

CapaciTorr HV - технические данные

 

 

 

НЕРАСПЫЛЯЮЩИЕ ГЕТТЕРНЫЕ НАСОСЫ - принцип работы

 

Насосы с нераспыляемым газопоглотителем (НГП) сорбируют газы путем химической реакции. В них используются высокореактивные сплавы, обычно  изготовленные из циркония или титана, конфигурация которых выполнена в виде высокоэффективной структуры картриджа-газопоглотителя.

Активные газы, например, O2, N2, H2O, CO, CO2, сталкивающиеся с поверхностью картриджа, подвергаются диссоциации и прочно захватываются в форме стабильных химических соединений. Кроме того, НГП перекачивает водород с очень высокой эффективностью.

Однако что касается водорода (и его изотопов), атомы водорода диффундируют внутри объема газопоглотителя и растворяются, образуя твердый раствор. Инертные газы (а также CH4 при комнатной температуре) не перекачиваются.

Поэтому НГП-насосы представляют собой эффективные и чистые стоки для молекул, с возможностью оптимизации скоростей перекачки и сорбционной емкости путем выбора типа материала газопоглотителя, его конфигурации и рабочей температуры. Чтобы НГП-насосы могли сорбировать газы, их необходимо сначала «активировать».

Процесс активации осуществляется в вакууме (или в атмосфере из инертных газов) путем нагрева картриджа-газопоглотителя при определенной температуре (обычно около 400-500C) и в течение заданного времени (около 1 часа).

Такая обработка позволяет поверхностным оксидам и карбидам, покрывающим поверхность, разложиться и диффундировать внутри объемной структуры материала газопоглотителя, оставляя чистую и реактивную металлическую поверхность, обладающую способностью к сорбции газов. Процесс активации требует очень малой мощности (примерно 30-500 Вт, в зависимости от моделей насосов) в течение короткого времени.

После активации РПГ-насосы удаляют все активные газы, в частности, O2, N2, H2O, CO – CO2, H2. Некоторые углеводороды и органические вещества также могут сорбироваться. В этом случае для получения наилучших результатов обычно рекомендуется эксплуатировать газопоглотительные насосы в горячем состоянии (например, при температуре 200-300C), что способствует молекулярному крекингу, а также объемной диффузии на поверхности «углерод – водород». В этих условиях также возможна перекачка метана.

 

 

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ NEXTORR

 

Нераспыляющие геттерные (НРГ) насосы NexTorr представляют собой очень компактные и легкие безвибрационные устройства, способные развивать чрезвычайно высокую скорость откачивания на единицу объема с минимальной потребляемой мощностью. Это позволяет широко использовать их в ультра-высоковакуумных системах.

 

Имеющиеся в настоящее время НРГ насосы позволяют минимизировать массу и размеры ультравысоковакуумных систем, гарантируя при этом оптимальные эксплуатационные показатели.

 

Такое оборудование, как сканирующие и просвечивающие электронные микроскопы, портативные анализаторы, системы для научных исследований свойств поверхностей или подготовки материалов, может быть значительно усовершенствовано за счет уменьшения массы и занимаемых площадей. Даже в составе очень больших исследовательских вакуумных систем, таких как ускорители и синхротроны, наличие магнитов, диагностических инструментов и разнообразных контрольно-измерительных приборов существенно ограничивает пространство для установки вакуумных насосов. Это создает сложные проблемы при разработке насосных узлов в части занимаемых площадей, массы и достижимых эксплуатационных показателей.

 

На основе накопленного в течение нескольких десятилетий опыта в геттерных и ультравысоковакуумных и сверхвысоковакуумных (УВВ/СВВ) технологиях газопоглотители SAES® сделали шаг вперед в технике откачивания и составили новую линейку продуктов – NEXTorr, которая решает все проблемы миниатюризации и крайне высокой эффективности.

 

 

 NEXTorr D 100-5 Скорость откачки (после активации)О2H2CON2CH4Ar100 л/сек100 л/сек70 л/сек40 л/сек15 л/сек6 л/секСорбционная производительность*О2H2CON2> 500 Торр∙л> 135 Торр∙л> 120 Торр∙л> 25 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Масса насоса………………………………………Тип Ионного насоса……………………………Контроллер…………………………………………< 10-5 мбар< 10-11 мбарCF 35St 172ZrVFe13,5 гр114 см22,2 кгДиодныйSIP Power, NIOPS NEXTorr D 200-5 Скорость откачки (после активации)О2H2CON2CH4Ar200 л/сек200 л/сек140 л/сек80 л/сек13 л/сек6 л/секСорбционная производительность*О2H2CON2> 1000 Торр∙л> 280 Торр∙л> 240 Торр∙л> 50 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Масса насоса………………………………………Тип Ионного насоса……………………………Контроллер…………………………………………< 10-5 мбар< 10-11 мбарCF 35St 172ZrVFe28 гр238 см22,2 кгДиодныйSIP Power, NIOPS NEXTorr D 300-5 Скорость откачки (после активации)О2H2CON2CH4Ar300 л/сек300 л/сек200 л/сек100 л/сек13 л/сек6 л/секСорбционная производительность*О2H2CON2> 1500 Торр∙л> 410 Торр∙л> 360 Торр∙л> 75 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Масса насоса………………………………………Тип Ионного насоса……………………………Контроллер…………………………………………< 10-5 мбар< 10-11 мбарCF 63St 172ZrVFe41 гр342 см23,1 кгДиодныйSIP Power, NIOPS NEXTorr D 500-5 Скорость откачки (после активации)О2H2CON2CH4Ar500 л/сек500 л/сек340 л/сек200 л/сек13 л/сек6 л/секСорбционная производительность*О2H2CON2> 2500 Торр∙л> 680 Торр∙л> 600 Торр∙л> 125 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Масса насоса………………………………………Тип Ионного насоса……………………………Контроллер…………………………………………< 10-5 мбар< 10-11 мбарCF 63St 172ZrVFe68 гр570 см23,1 кгДиодныйSIP Power, NIOPS NEXTorr D 1000-10 Скорость откачки (после активации)О2H2CON2CH4Ar850 л/сек1000 л/сек580 л/сек320 л/сек32 л/сек10 л/секСорбционная производительность*О2H2CON2> 5000 Торр∙л> 1125 Торр∙л> 800 Торр∙л> 110 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Масса насоса………………………………………Тип Ионного насоса……………………………Контроллер…………………………………………< 10-5 мбар< 10-11 мбарCF 100St 172ZrVFe112,5 гр950 см26,5 кгДиодныйSIP Power, NIOPS NEXTorr D 2000-10 Скорость откачки (после активации)О2H2CON2CH4Ar1700 л/сек2000 л/сек1100 л/сек640 л/сек32 л/сек10 л/секСорбционная производительность*О2H2CON2> 10000 Торр∙л> 2250 Торр∙л> 1600 Торр∙л> 220 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Масса насоса………………………………………Тип Ионного насоса……………………………Контроллер…………………………………………< 10-5 мбар< 10-11 мбарCF 100St 172ZrVFe225 гр1900 см26,8 кгДиодныйSIP Power, NIOPS Контроллер SIP POWER Контроллер SIP POWER осуществляет управление модулями ионных насосов NEXTorr. Контроллер включает в себя внутреннюю систему для измерения тока ионизации, а также систему автоматического переключения диапазонов измерения. Предусмотрена возможность обмена данными по току (в нА) с внешним устройством посредством последовательного интерфейса. Измеренное напряжение также можно передавать во внешнее устройство. С помощью специальной программы можно одновременно контролировать до 128 модулей SIP POWER в локальной сети LAN. Ключевые особенности:- БЕЗОПАСНЫЙ разъем и ВЗАИМОБЛОКИРОВКА- Опция – буквенно-цифровой дисплей- Светодиоды индикации статуса и интерфейс RS485 Дистанционное управление (интерфейс передачи данных) - Ethernet, USB, интерфейс RS485 (только в моделях без буквенно-цифрового дисплея) Контроллер NIOPS Контроллер NIOPS предназначен для управления насосами NEXTorr. Устройство состоит из двух силовых блоков, контролирующих ионный насос – «ION», а также нераспыляющий геттерный насос – «NEG» в составе насоса NEXTorr. Управление обоих модулей осуществляется посредством цепи микропроцессора, и оба модуля используют совместный модуль сетевого питания. Два силовых блока могут работать независимо друг от друга. Предусмотрена возможность дистанционного управления контроллером NIOPS посредством протоколов последовательного обмена данными ASCII (RS232) и MODBUS RTU (RS485). Контроллер NIOPS рассчитан на работу в трех режимах работы секции НРГ насоса в составе насоса NEXTorr:- Активация- Регулируемая по времени активация- Достижение требуемых условий Имеются различные модели контроллеров NIOPS (NIOPS-03, NIOPS-04 и NIOPS-06) для управления шестью насосами NEXTorr.

* Примечание: Сорбционная производительность по CH4 более 50 000 часов при давлении 10-6 Торр

Заказать

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ CapaciTorr

 

 

Насосы CapaciTorr идеально подходят для достижения самых высоких показателей скорости и для режимов с высокой газовой нагрузкой, когда требуется повышенная рабочая температура для увеличения поглощающей способности материала. Эти насосы изготавливаются из высокопористых спеченых материалов для обеспечения максимальных рабочих параметров (скорости и производительности) и оптимальных механических характеристик.

 

Серия CapaciTorr отличается новой конструкцией фланца, который делает общую систему насоса более простой и компактной, с преимуществами меньшей установочной поверхности и надежности по сравнению с предыдущими сериями.

 

Насосы CapaciTorr широко используются в различных отраслях, автономно или в комбинации со стандартными ультравысоковакуумными насосами. В частности, они могут применяться для повышения эффективности вакуумирования в универсальных вакуумных системах, за счет их высокой скорости перекачивания водорода и других активных газов.

 

Специальные конфигурации геттерных материалов, которые состоят из высокопористых геттерных элементов, обеспечивают оптимизированные характеристики обычных НРГ насосов, в том числе, более высокую производительность и благодаря этому – более долгий срок службы с большим количеством циклов продувки - реактивации. В качестве геттерного материала в насосах CapaciTorr используется St 172, спеченный материал на основе широко распространенного геттерного сплава St 707.

 

Стандартные виды применения CapaciTorr – ускорители частиц, источник синхротронного излучения и соответствующее оборудование, системы анализа поверхностей и другие вакуумные системы в сфере научных исследований. Кроме того, насосы CapaciTorr находят широкое применение в оборудовании для производства полупроводников в качестве технологических насосов в таких процессах, как металлизация напылением, где используются преимущества того, что НРГ материалы не перекачивают инертные газы. В таких режимах, где от вакуумных насосов часто требуется работа в циклах с высокой нагрузкой, насосы CapaciTorr выгодно отличаются способностью выдерживать множественные воздействия воздуха без чрезмерного ухудшения их поглощающей способности.

 

 

 

 CapaciTorr D 50 Скорость откачкиH2CO55 л/сек30 л/секСорбционная производительностьH2COCO итого78 Торр∙л0,1 Торр∙л70 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………< 10-6 мбар< 10-12 мбарCF 35St 172ZrVFe7,8 гр66 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 100 Скорость откачкиH2CO100 л/сек60 л/секСорбционная производительностьH2COCO итого135 Торр∙л0,2 Торр∙л120 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………< 10-6 мбар< 10-12 мбарCF 35St 172ZrVFe13,5 гр114 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 200 Скорость откачкиH2CO200 л/сек140 л/секСорбционная производительностьH2COCO итого280 Торр∙л0,56 Торр∙л252 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………< 10-6 мбар< 10-12 мбарCF 35St 172ZrVFe28 гр238 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 400-2 Скорость откачкиH2CO400 л/сек180 л/секСорбционная производительностьH2COCO итого450 Торр∙л0,9 Торр∙л400 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………< 10-6 мбар< 10-12 мбарCF 35St 172ZrVFe45 гр380 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 1000 Скорость откачкиH2CO1000 л/сек600 л/секСорбционная производительностьH2COCO итого1360 Торр∙л4 Торр∙л1224 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………< 10-6 мбар< 10-12 мбарCF 63/CFF 100St 172ZrVFe136 гр1140 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 2000 Скорость откачкиH2CO2000 л/сек1000 л/секСорбционная производительностьH2COCO итого2250 Торр∙л5 Торр∙л2000 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………< 10-6 мбар< 10-12 мбарCF 100/CFF 160St 172ZrVFe225 гр1900 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr D 3500 Скорость откачкиH2H2OCON23600 л/сек2700 л/сек1800 л/сек1000 л/секСорбционная производительностьH2COCO итого3950 Торр∙л12 Торр∙л3100 Торр∙лДавление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………< 10-6 мбар< 10-12 мбарCF 160/CFF 200St 172ZrVFe395 гр2964 см2SIP Power, NEG Power Блоки питания для насосовCapaciTorr D 400-2, D 200, D 100 и D 50 Блоки питания CapaciTorr CF35 представляют собой электронные приборы, специально разработанные для контроля процесса активации геттерных насосов. Приборы преобразовывают поступающее сетевое напряжение (110–240 B перемен. тока, 50–60 Гц) в напряжение постоянного тока (8,6–16,5 B пост. тока) и подводят питание к геттерным насосам посредством электронной платы микропроцессорного управления. Эти приборы предназначены для управления геттерными насосами в трех разных режимах:• Активация• Активация по времени• Кондиционирование  Контроллер SIP POWER Контроллер SIP POWER осуществляет управление модулями ионных насосов NEXTorr. Контроллер включает в себя внутреннюю систему для измерения тока ионизации, а также систему автоматического переключения диапазонов измерения. С помощью специальной программы можно одновременно контролировать до 128 модулей SIP POWER в локальной сети LAN. Ключевые особенности:БЕЗОПАСНЫЙ разъем и ВЗАИМОБЛОКИРОВКАОпция – буквенно-цифровой дисплейСветодиоды индикации статуса и интерфейс RS485 в моделях без буквенно-цифрового дисплея Интерфейс передачи данных:Ethernet, USB, интерфейс RS485 (только в моделях без буквенно-цифрового дисплея)

Заказать

 

СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ CapaciTorr HV

 

В более ранних моделях НРГ насосов, разработанных компанией «SAES» в 70-х годах, использовался механически сжатый геттерный порошок St 707* (Zr-V-Fe).

Произведенная в 90-х годах замена сжатых геттеров спеченными геттерами (St 172*) обусловила значительным технологическим прогрессом. Эти 2 геттерных сплава стали основой в различных областях ультра-высоковакуумного применения. В насосе CapaciTorr HV используется новый спеченный пористый геттерный сплав ZAO.

 

Благодаря способности сплава ZAO поглощать большие объемы воздуха, воды и газов CO/CO2 насос CapaciTorr HV – первый НРГ насос, который может регулярно использоваться в высоковакуумном режиме (то есть, в диапазоне от 10–7 до 10–9 Торр). Для этого насос CapaciTorr HV должен работать при умеренной температуре (около 200oC).

 

Рабочая температура и особые характеристики сплава ZAO позволяют реактивировать насос после продолжительной эксплуатации. При необходимости насос можно также использовать при комнатной температуре в ультрасверхвакуумных условиях. Имеются насосы с фланцами CF35, CF63, CF150 ми CF200.

Насос оборудуется внешним кожухом для стабилизации температуры насоса и минимизации потребления мощности во время эксплуатации (5–50 Вт, в зависимости от модели). Имеются модели без кожуха. НРГ картридж просто заменяется после полного насышения.

Стандартные виды применения – в ускорителях частиц и в медицинских ускорителях, коллайдерах с высокой газовой нагрузкой, в линейных ускорителях заряженных частиц, в активаторах, в источниках синхротронного излучения в высоком вакууме, в системах напыления пленок.

 

 

 CapaciTorr HV 200 CF35 Скорость откачкиH2O2CO2N2105 л/сек32 л/сек25 л/сек30 л/секСорбционная производительность (при 230oC)H2O2CO2N22800 Торр∙л200 Торр∙л40 Торр∙л200 Торр∙лКоличество циклов сорбции………………Давление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………> 20 циклов*< 10-4 мбар< 10-12 мбарCF 35ZAOZrVTiAl140 гр432 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr HV 200 CF63 Скорость откачкиH2O2CO2N2210 л/сек90 л/сек65 л/сек60 л/секСорбционная производительность (при 230oC)H2O2CO2N22800 Торр∙л200 Торр∙л40 Торр∙л200 Торр∙лКоличество циклов сорбции………………Давление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………> 20 циклов*< 10-4 мбар< 10-12 мбарCF 63ZAOZrVTiAl140 гр432 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr HV 1600 Скорость откачкиH2O2CO2N21700 л/сек800 л/сек620 л/сек470 л/секСорбционная производительность (при 230oC)H2O2CO2N213800 Торр∙л800 Торр∙л160 Торр∙л800 Торр∙лКоличество циклов сорбции………………Давление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………> 20 циклов*< 10-4 мбар< 10-12 мбарCF 160ZAOZrVTiAl690 гр2190 см2SIP Power, NEG Power CapaciTorr HV 2100 Скорость откачкиH2O2CO2N22100 л/сек1250 л/сек880 л/сек625 л/секСорбционная производительность (при 230oC)H2O2CO2N222600 Торр∙л1300 Торр∙л260 Торр∙л1300 Торр∙лКоличество циклов сорбции………………Давление старта…………………………………Предельное давление………………………Подключаемый фланец………………………Сплав материала газопоглотителя……Состав сплава………………………………………Масса газопоглотителя………………………Площадь газопоглотителя…………………Контроллер…………………………………………> 20 циклов*< 10-4 мбар< 10-12 мбарCF 200ZAOZrVTiAl1130 гр3580 см2SIP Power, NEG Power Блок питания для насоса CapaciTorr® HV 200 Блок питания CapaciTorr HV 200 представляет собой электронный прибор, специально разработанный для контроля процессов активации и функционирования геттерных насосов CapaciTorr HV 200. Прибор подводит питание к геттерным насосам посредством электронной платы микропроцессорного управления. Эти приборы предназначены для управления геттерными насосами в двух разных режимах:• Активация• Функционирование В режиме активации прибор обеспечивает питание, необходимое для нагревания геттерного насоса до температуры активации (~500oC). В данном режиме работы блок питания CapaciTorr HV 200 подводит 100% предусмотренной мощности.В режиме функционирование прибор обеспечивает питание, необходимое для нагревания геттерного насоса до рабочей температуры (~230oC). Предусмотрены режимы работы для блоков питания CapaciTorr HV 200 с соединительными фланцами CF 63 и CF 35. Мультиконтроллер для насосов NEXTorr, CapaciTorr, CapaciTorr HV Контроллер NEG POWER представляет собой электронный прибор, специально предназначен- ный для управления процессом активации насосов NEXTorr, CapaciTorr, CapaciTorr HV. Контроллер обеспечивает:• Напряжение постоянного тока до 110 B• Ток до 10 A• Мощность до 700 Вт для одного канала• Дистанционное управление по локальной сети LAN, посредством интерфейса RS232 илиRS485 Аппарат оборудован простым в использовании сенсорным дисплеем. Управление можно также осуществлять с использованием программного обеспечения дистанционного управления контроллера NEG POWER. Процесс активации можно настраивать путем ввода параметров электропитания и требуемой температуры.

* Примечание: Данные скорости перекачивания относятся к исходным параметрам насоса, измеренным на впуске насоса. Производительность «одного цикла» рассчитана как рекомендованный поглощенный объем за один цикл, с учетом возможности выполнения более 20 циклов поглощения. В случае эксплуатации с более низкими газовыми нагрузками или при комнатной температуре можно проводить 100 реактиваций насоса или больше.

 

 

Заказать